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         此实际均值,则称计算得到的这一均值估计上限为置信上限。
    39 静态测试 at-rest test
         洁净室(区)内没有生产人员的情况下进行的测试。
    3.10 动态测试 operational test
         洁净室(区)已处于正常生产状态下进行的测试。
4 测试方法
    4.1 方法提要
         本测试方法采用计数浓度法,即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮
         粒子数,来评定洁净室(区)的悬浮粒子洁净度等级。
    4.2 仪器
         a)光散射粒子计数器(用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数);
         b)滤膜显微镜(用于粒径大于或等于5μm的悬浮粒子计数)。
    4.2.1 光散射粒子计数器原理
         空气中的悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象,散射光的强度与粒子的表面积成正比。
    4.2.2 光散射粒子计数器使用要点
         使用仪器时应严格按照仪器说明书操作。
    4.2.2.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。
    4.2.2.2 采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。
    4.2.2.3 采样管必须干净,严禁渗漏。
    4.2.2.4 采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另行规定外,长度不得大于1.5m。
    4.2.2.5 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。
    4.2.2.6 必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。
5 测试规则
    5.1 温度和湿度
         洁净室(区)的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应(温度控制在18℃~24℃,相对湿
         度控制在45%~60%之间为宜)。
    5.1.2 压差
         空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥4.9Pa,空气洁净度级别要求高的洁净室(区)
         对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。
    5.2 测试状态
         有静态测试和动态测试。
         静态测试时,室内测试人员不得多于2人。
         测试报告中应标明测试时所采用的状态。
    5.3 测试时间
    5.3.1 对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10 min后开始。
    5.3.2 对非单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。
    5.4 悬浮粒子计数
    5.4.1 采样点数目及其布置
         悬浮粒子洁净度监测的采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。采样点布
         置规则应按附录A(标准的附录)。悬浮粒子洁净度等级验证的采样点数目应按5.4.1.1和5.4.1.
         2布置。
    5.4.1.1 最少采样点数目
         悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目可查表1确定。


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