6 结果计算
悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算：
6．1 采样点的平均粒子浓度 式中：A棗某一采样点的平均粒子浓度，粒/mз；
Ci棗某一采样点的粒子浓度（i
=1，2，…，N），粒/ mз；
N棗某一采样点上的采样次数，次。
6、2 平均值的均值
M= ……………………（3）
式中：M——平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒/m3；
Ai——某一采样点的平均粒子浓度（i=1，2，…，L），粒/m3；
L——某一洁净室（区）内的总采样点数，个。
6、3 标准误差
M= ………………（4）
式中：SE——平均值均值的标准误差，粒/m3。
6、4 置信上限
UCL=M+t×SE
……………………（5）
式中：UCL——平均值均值的95%置信上限，粒/m3；
t——95%置信上限t分布系数，见表3。
表3
95%置信上限的t分布系数
采样点数L
|
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
＞9 |
| t |
6.31
|
2.92
|
2.35
|
2.13
|
2.02
|
1.94
|
1.90 |
1.86
|
-- |
| 注：当采样点数多于9点时，不需要计算UCL。 |
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7
结果评定
判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。
7、1 每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级界限，即Ai≤级别界限。
7、2 全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别
界限。
附 录 A
（标准的附录）洁净室（区）采样点布置
A1 洁净室（区）采样点布置力求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。下列采样点的图示可
作参考。(注：黑点为采样点）
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